高纯气体输送系统中气体与管道的关系

什么是高纯气体管道配管技术？所谓的高纯气体配管技术，是包括高纯供气系统的正确设计、阀门管件及附件的合理选择、管道施工、安装试验和测试等；是高纯气体供应系统的重要组成部分；是保证高纯气体安全稳定地输送到用气点，且符合设备使用要求的关键技术。

高纯气体管道工程应用领域

高纯气体管道系统工程有着能保证气体的纯度、保证标准气体流量、压力稳定和量值传递不发生变化等特点，广泛应用于半导体、集成电路、光电、汽车、新能源、纳米、光纤、微电子、石油化工、生物医药、各种实验室、科研研究所、标准测试等高科技行业。

常见气体种类：

在电子工业中普通气体，也称大宗气体(Bulkgas)：氢气(H2)、氮气(N2)、氧气(O2)、氮气(A2)等；除普通气体外，电子工业还会用到大量的高纯特种气体(Specialty gas )，如：SiIH4、PH3、B2H6、CL、HCL、CF4、POCL3、BCL3、SIF4、CLF3、C2F6、N2O等等。这些特殊气体根据气体性质，类别通常可分为腐蚀性、毒性、易燃性、助燃性、惰性等。

常用半导体气体分类如下:

（一）腐蚀性/毒性: HI、BF3、WF6、HBr、SiH2C2、NH3、PH3、C12、BCI3等

（二）可燃性: CH4、SiH4、PH3、AsH3、SIH2CI2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO等

（三）助燃性: O2、C12、N2O、W3等

（四）惰性: CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He等

半导体行业中使用的电子特种气体，很多都是对人体有害的。比如，半导体制程工艺最常见的特种气体：硅烷（SiH4）就具有自燃特性，一旦发生泄漏，它们就会与空气中的氧气剧烈反应并开始燃烧。再比如磷烷（PH3）和坤烷（AsH3）也具有剧毒性，任何轻微的泄漏都可能对人们的生命造成伤害。正是由于这些明显的危险，所以对于高纯气体供应系统设计的安全性要求特别高。