氦质谱检漏仪可以测试高纯气体管道吗？

在气体管道工程中，由于施工中的各种因素，一些管道和其他连接处可能有肉眼无法检测到的小孔，导致泄漏和事故。特别是在半导体、集成电路等微电子行业输送超高纯电子气体的气体管道工程中，如果发生泄漏，将对生产安全产生很大影响，因此泄漏检测非常重要。

高纯气体管道工程系统应用领域。

该项目涵盖半导体、集成电路、平板显示器、光电、汽车、新能源、纳米、光纤、微电子、石化、生物医、各种实验室、研究所、标准测试等高科技产业。

气体管道的五项试验是QC中最重要的部分。这五项试验包括：保压试验、氦泄漏试验（氦检测）、水试验、氧试验和颗粒试验，确保气体管道系统质量达到一定水平，满足客户需求。我们今天需要了解的是氦质谱泄漏检测的步骤和氦泄漏检测方法。

一、测试前准备。

1.系统成功通过保压检漏。

2.确认系统的所有部件都能承受真空而不损坏。

3.首先检测阀组及连接管的泄漏率。

4.氦质谱检漏仪与系统管道连接前，应释放被测系统中的气体。

5.慢慢打开测漏仪入口处的阀门，将测漏仪与管道系统隔离阀之间的管道抽真空，直至测漏仪显示的背景漏率低于1×10-9mbar.l/s。

6.对连接管道上的所有焊道和机械连接处进行氦气喷吹。

二、测试方法。

1.确认系统中的所有阀门和调压阀都是。

2.确认系统中的压力为0，如果系统中有正压，先将系统中的气体排出。

3.慢慢打开泄漏检测仪入口处的阀门，开始将系统抽入真空状态。遵循泄漏检测仪的操作说明，直至达到可检测状态。

4.记录检漏仪背景氦泄漏率，改背景氦泄漏率低于1×10-9mbar.l/s后方可进行喷吹工作。

5.从最靠近泄漏检测仪的焊接通道或连接处开始检测，用喷枪将氦气喷到焊接通道或连接处，使氦气在焊接通道或连接处停留一段时间。确认无泄漏后，检测下一个焊接通道或连接处，直到最后一个焊接通道或连接处。

6.如发现泄漏检测仪指示值上升，在泄漏检测仪读取值恢复正常后，重新检测焊接通道或连接，确认是否真的泄漏。如果焊接通道或连接处没有泄漏，应依次检测焊接通道或连接处前的焊接通道或连接处，直至发现泄漏点。

7.直到检测到所有接头，合格接头应贴上合格标志。所有接头喷氦后，继续观察泄漏检测仪读数约10分钟，确认读书无异常后将系统与仪器分离。

8.如果每个接头的氦泄漏率低于1×10-9mbar.l/s，则系统的泄漏率符合要求。测试人员可以在测试报告中记录测试结果。

9.将检漏仪与系统分开。